应用领域：有源减振器 / 自适应机械部件 / 精密机械部件 / 微型机械部件 / 光学 / 测量技术/干涉测量 / 自适应系统技术 / 切换 / 激光调谐 / 力的生成 / 材料检测 / 纳米技术